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CrackScan

光学检测系统识别并定位大块晶圆材料内部的最小裂纹

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DicingScan

半导体制造中切割道的100%检查

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EdgeScan

100%晶圆边缘检测和可靠的缺陷检测

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SpecGAGE3D

高反射物体的自动表面检测

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WafQScan

可靠检测缺陷，如污染或微划痕

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